XPS指的是X-ray Photon-electron Spectroscopy（光電子能譜儀），是一種基于光電效應，采用X射線激發被測樣品表面nm尺度內的原子發射光電子，通過系統探測到所發射光電子的動能等信息，進而分析樣品表面的元素種類及化合態的定性和定量分析的一種技術。XPS技術目前已有超過40年的應用歷史。目前廣泛應用于科研和工業測試領域，包括化工、催化、薄膜、半導體、鋼鐵、納米材料以及微器件等。 賽默飛世爾表面分析部門的前身----英國VG科技公司是一家有著超過40年的表面分析和超高真空儀器研發和制造的公司，在定型光電子能譜儀的間斷技術研發和產品更新等方面走在市場的前列，目前可提供光電子能譜儀型號超過5種，可滿足科研、測試、工業質量控制等各個領域的應用需求。2010年國內同類產品市場占有率超過70%。

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