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離子濺射儀樣品鍍膜處理實驗操作介紹

瀏覽次數:993 發布日期:2023-8-16  來源:本站 僅供參考,謝絕轉載,否則責任自負
     離子濺射儀樣品鍍膜處理實驗

      電子在電場的作用下,飛向基片過程中與氣體原子發生碰撞,使其電離產生出氣體正離子和新的電子;新電子飛向基片,離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場,被束縛在靶表面特定區域,增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現高速率濺射。

主要應用:
適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導電膜(金膜、鉑金、銀、鎳、銅等),儀器操作簡單方便,是配合各類型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。是制備低維度,小尺寸納米材料器件的必備實驗手段,廣泛應用于集成電路,光子晶體,低維半導體、微生物、超微膜材料等領域。

配套世界主流掃描電子顯微鏡廠家:
熱電(美國原荷蘭)FEI鎢絲陰極、場發射、飛納臺式等各類型電子顯微鏡,蔡司(德國)鎢絲陰極、場發射各系列的掃描電子顯微鏡,JEOL(日本電子)各類電鏡,日立(日本)各系列電鏡、臺式電鏡,TESCAN泰斯肯(捷克)各系列電鏡,還有如韓國“賽科”、COXEM庫賽姆、MIRERO等電鏡品牌及所有需要樣品前期處理,提高成像質量、增強導電性能等表面鍍膜處理的樣品制備工作。

【實驗/設備條件】
     掃描電鏡、場發射、能譜儀定性定量分析
【樣品提取】
    切割機---切割樣品--超聲清洗---干燥(生物樣品需臨界點干燥)---放置樣品杯
【實驗/操作方法】
        所需設備小型離子濺射儀(ISC--1000CK)
          
 
TZZN-100標準型                                         TZZN-1000磁控型
                                       
1.打開電源,預抽3-5分鐘
2.場發射電鏡,使用電流10毫安,鍍膜時間60秒
  鎢絲陰極,可用高壓2000V左右的直流濺射,電流8毫安,鍍膜時間3分鐘
   調試好濺射儀工作狀態,并設置好參數,關閉電源準備。
3.將處理好的樣品:如:鏡片
 
 
 
4.將樣品放置于樣品臺正中,大約距離濺射靶源50毫米左右,如果是磁控型的可放置于20毫米左右。
5.打開濺射儀工作電源。
【實驗結果/結論】
      高壓型濺射儀在處理樣品,樣品的鍍膜厚度與鍍膜的電流和時間成正比關系,但樣品表面的溫升范圍很大,容易對樣品造成熱損傷。
鍍膜效果:12毫安,斷續5分鐘,給鏡片鍍膜
 
 
 
    低溫磁控型處理樣品:60秒樣品表面無明顯改變,裸眼觀測會有淺灰色;當加大電流且延長鍍膜時間,隨著時間的延長,樣品表面的顏色有灰色到金色。
  如果需要鍍一層厚膜,建議使用高壓型離子濺射儀。
【儀器/耗材清單】
     切割機:用于提取樣品適合掃描電鏡和離子濺射儀
    拋光機:本次未用
   超聲清洗機:清楚樣品污染
   導電膠或是導電膠帶:固定樣品
   樣品杯:固定放置樣品
   掃描電鏡:觀測,分析
   離子濺射儀:樣品導電性處理
發布者:天澤智能科技發展(天津)有限責任公司
聯系電話:13691273995
E-mail:13691273995@126.com

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