無塵室操作時的一般規(guī)定：
 
1.處理芯片時，必須戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經清洗，方得繼續(xù)使用：
 
（1）任何一支鑷子前端（即挾持芯片端）如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，必須拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。
 
（2）芯片清洗后進行下一程序前，若被手指碰觸過，必須重新清洗。
 
（3）把芯片放置于石英舟上，準備進爐管時，若發(fā)現(xiàn)所用鑷子有污損現(xiàn)象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，必須將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。
 
2.芯片必須放置盒中，蓋起來存放于規(guī)定位置，盡可能不讓它暴露。
 
3.避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進擴散爐前，請?zhí)貏e注意，防止上述動作產生，若芯片上沾有纖維屑時，用氮******噴之。
 
4.從鐵弗龍（Teflon）晶舟，石英舟（QuartzBoat）等載具（Carrier）上，取出芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。
 
5.芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。
 
6.操作時，不論是否戴上手套，手絕不能放進清洗水槽。
 
7.使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。
 
8.擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯片，然后再進氧化爐。
 
9.請勿觸摸芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片污染，必須重作清洗。
 
10.手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。
 
11.非經指示，絕不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。
 
12.奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知相關人員。
 
13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。
 
14.芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。
 
15.無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。